近日，中電科風華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識產權的第三代半導體晶圓缺陷檢測設備—Mars 4410。目前，該設備已陸續發往國內多家客戶進行使用。
Source：中電科風華
半導體制造工藝十分復雜，稍有差錯都可能影響芯片功效。半導體檢測貫穿半導體設計、晶圓制造、封裝三大流程，有效的檢測可以提高良率、控制成本。
Mars 4410 是碳化硅器件產線中的關鍵裝備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。設計團隊經過兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學檢測核心關鍵技術。
Source：中電科風華
設備采用差分干涉相襯、光致發光、暗場等多種檢測手段，晶圓檢測可與數據分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關聯，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量、高檢出率和準確性等優勢，能滿足提升 SiC 器件良率的需求。
中電科風華成立于1998年，注冊在山西轉型綜合改革示范區，隸屬于中國十大央企軍工集團—— 中國電子科技集團有限公司，是中國電科半導體裝備領域核心成員單位，是首批國家級創新型企業，國家級“專精特新”小巨人企業，國家第三代半導體技術創新中心（山西）共建單位。
公司與浙江大學、之江實驗室、?？禉C器人開展產學研用深入合作，在半導體、高端裝備、電子信息等領域承擔了30余項國家級、省部級科技創新項目。產品布局分為半導體顯示、半導體檢測、光伏新能源、汽車電子、微電子等五大專用生產設備板塊。（文：化合物半導體市場 Cecilia整理）
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